河北東同光電科技有限公司組建成立
年產(chǎn)50噸AZO靶材項目竣工
氧化鈮靶材研發(fā)成功并投產(chǎn)
氧化鈦靶材研發(fā)成功并投產(chǎn)
氧化鈮旋轉靶材研發(fā)成功并投產(chǎn)
TZO及硫化鉬靶材投產(chǎn)
旋轉靶材綁定技術、工藝定型
硅鋁、硅鎳等合金靶材相繼投產(chǎn)
各類靶材相繼研發(fā)成功，并投入生產(chǎn)
銅鎵合金管靶研發(fā)成功
PZT靶材及導電精密陶瓷研發(fā)成功
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